HT2000系列空气质量流量传感器,该产品芯片由两个热偶堆和一个加热电阻组成:热偶堆对称地分布在加热电阻的上、下游;加热电阻和热偶堆的热结处于一个隔热底座上。加热电阻对热偶堆的热结加热,热偶堆热结和冷结之间的温度梯度导致输出电压,即本征赛贝克效应。
应用领域
◆ 暖通空调和汽车工业上的质量流量
◆ 医用呼吸器和通风器
◆ 气体分析仪
◆ 气体标定
性能
◆ 对低速和微差压十分敏感
◆ 没有输出信号的偏移和偏移漂移
◆ 反应速度快(小于10ms)
◆ 耐腐蚀性气体,耐磨擦
◆ 耐振动,耐高压(15个以上大气压)
◆ 信号处理电路简单
独特优势
★ 热偶堆测温基于组成材料的本征塞贝克效应。这种测温方式除了具有灵敏度高,不受干扰的优点外,还不像二极管和三极管测温,需要外加偏压,因而不产生输出信号的偏移和偏移漂移,使测量变得简单。
★ 独到的隔热底座设计不用薄膜和表面空穴。因此芯片可以承受强烈震动,耐高压,耐腐蚀,耐流体中颗粒的冲撞和磨损。
★ 适用于气体流体。
性能参数
参 数 |
最 小 |
典 型 |
最 大 |
单 位 |
流量范围(刻度) |
|
1000 |
|
sccm |
零点漂移 |
|
±0.1 |
|
mv |
输出电压漂移 |
|
±1 |
|
%F.S |
重复性&迟滞 |
|
1 |
|
%F.S |
加热电流 |
6,恒电流 |
mA |
加热功率 |
95,恒功率 |
mW |
加热电阻 |
2570 |
2690 |
2810 |
ohm |
零点温漂 |
|
0.8 |
|
%FS |
参考电阻温度系数 |
|
-578 |
|
Ppm/℃ |
上游热偶堆输出(空气,25℃) |
149 |
165 |
171 |
mV | ,TR>
下游热偶堆输出(空气,25℃) |
149 |
165 |
171 |
mV |
工作温度 |
-10 |
|
80 |
℃ |
反应时间 |
<10 |
ms |
过 压 |
>15(217) |